幅広い先端技術とノウハウを高度に融合させ、機械システム、制御メカトロシステムを中心に先進の機械システムに取り組んでいます。
クリーンな電気エネルギーを熱源とする高周波の誘導加熱装置をはじめとした各種熱処理装置、鉄鋼プロセス用機器を世界中で提供しています。
半導体・液晶分野では、独自技術による半導体製造関連製品や液晶パネル製造に対応した先進のイオン注入装置や液晶検査装置などを手がけています。
クリーンな電気エネルギーを熱源とする高周波の誘導加熱装置をはじめとした各種熱処理装置、鉄鋼プロセス用機器を世界中で提供しています。
半導体・液晶分野では、独自技術による半導体製造関連製品や液晶パネル製造に対応した先進のイオン注入装置や液晶検査装置などを手がけています。

パワーエレクトロニクス製品(誘導加熱装置)
誘導加熱装置をはじめとした、各種熱処理装置、鉄鋼プロセス用機器など
誘導加熱装置をはじめとした、各種熱処理装置、鉄鋼プロセス用機器など
液晶パネル製造用イオン注入装置
低温ポリシリコンTFT型液晶パネル製造に対応した、先進のイオン注入装置
低温ポリシリコンTFT型液晶パネル製造に対応した、先進のイオン注入装置
液晶検査装置
ガラス基板の大型化、高精細化に対応した、信頼性の高い液晶検査装置
ガラス基板の大型化、高精細化に対応した、信頼性の高い液晶検査装置
高速熱処理装置
自社開発技術であるソーンコントロール誘導加熱技術を採用した液晶製造用熱処理装置
自社開発技術であるソーンコントロール誘導加熱技術を採用した液晶製造用熱処理装置
CVD-SiCコーティング
CVD(化学蒸着法)技術によるSiCコーティングを用いた半導体製造関連製品
CVD(化学蒸着法)技術によるSiCコーティングを用いた半導体製造関連製品
セラミックス部品、モジュール部品他
半導体産業用及び一般産業用炭化珪素、アルミナ、サファイアなどセラミックス単体部品及びモジュール、サブアセンブリィ部品
半導体産業用及び一般産業用炭化珪素、アルミナ、サファイアなどセラミックス単体部品及びモジュール、サブアセンブリィ部品
実験設備
造波装置を中心とした、土木・海岸用、造船用の水理実験を行うための設備
造波装置を中心とした、土木・海岸用、造船用の水理実験を行うための設備
レーダー検査装置
電磁波を利用した地中レーダ探査機による路面下空洞探査、埋設管探査
電磁波を利用した地中レーダ探査機による路面下空洞探査、埋設管探査
