【熱処理装置システム】
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TFT液晶、有機ELなどの熱処理プロセスに対応します。
エム・イー・エス・アフティは、高性能熱処理装置の専業メーカであるガソニックス社を吸収し、数多くの実績のある装置群およびノウハウを継承しました。
独自のゾーンコントロール誘導加熱方式の装置を含めエム・イー・エス・アフティの熱処理装置システムは、高速昇降温性能と優れた温度均一性を活かし、特に高い温度制御性が求められる高性能液晶ディスプレイや有機ELの製造工程に用いられています。
バッチ式熱処理装置システム

バッチ式熱処理装置
システム

枚様式熱処理システム

枚様式熱処理システム

特長
  • 高速昇降温性能
  • 高い温度均一性
  • 真空対応(オプション)により各種プロセス処理に適用可能
  • バッチ式と枚葉式の2タイプをラインナップ
実績
  • 日本をはじめ、韓国、台湾、シンガポールに納入実績があり、高い評価を頂いております。

エム・イー・エス・アフティ(株) 営業部

電話番号: 042-632-8800   Fax: 042-632-8801
エム・イー・エス・アフティ(株) 営業部
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