誘導加熱装置をはじめとした、各種熱処理装置、鉄鋼プロセス用機器など

低温ポリシリコンTFT型液晶及び有機ELパネル製造に対応した、先進のイオン注入装置

低圧で高密度のECRプラズマ流と、プラズマ流の出口に配置した固体ソース(ターゲット)からのスパッタ粒子を直接反応させる事により、低温・低ダメージで高品質の薄膜を形成します。

TFT液晶および有機ELなどのフラットパネルディスプレイおよび太陽電池など製造に対応した熱処理装置システム

優れたステップカバレッジ性を活かし、従来の封止膜に見られる欠陥を修復しディスプレイの信頼性を高める事が出来る成膜装置

CVD（化学蒸着法）技術によるSiCコーティングを用いた半導体製造関連製品

半導体産業用及び一般産業用炭化珪素、アルミナ、サファイアなどセラミックス単体部品及びモジュール、サブアセンブリィ部品

造波装置を中心とした、土木・海岸用、造船用の水理実験を行うための設備

電磁波を利用した地中レーダ探査機による路面下空洞探査、埋設管探査