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2010年

2010年10月27日
アクティブ型有機ELパネルの量産に向け
次世代イオン注入装置「Magic-i」を開発 初号機出荷

次世代イオン注入装置「Magic-i」
三井造船株式会社(社長:加藤 泰彦)の子会社であるエム・イー・エス・アフティ株式会社(MESアフティ:社長 内田 省寿)では、アクティブ型有機ELディスプレイ(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode;以下AMOLED)の本格量産を見越して注入品質の向上と生産性の向上を両立させた次世代イオン注入装置「Magic-i」を開発し、このたび1号機を出荷しました。

AMOLEDは、高い輝度とコントラスト、優れた色再現性を特徴とする高性能ディスプレイであり、最近の量産技術確立により、携帯電話の高級機種やスマートフォンにおいて採用が進んでいます。
また、高い画像品質に加えて液晶に比べて優れた応答性から3Dテレビの本流になるとも見られており、ディスプレイメーカ各社において、大型ガラス基板によるAMOLEDテレビ生産ラインの投資計画も進められています。

MESアフティでは、「Magic-i」の2号機以降についても、年末から来年初めに出荷を予定しています。
更に量産投資で先行する韓国はもとより、台湾での既存液晶製造ラインのAMOLED製造ラインへの転換計画や中国での研究開発・試作ラインの整備に対応して「Magic-i」やアニール(熱処理)装置の商談を活発に進めています。

今回出荷した次世代イオン注入装置「Magic-i」の概要
ガラス基板サイズ 730×920mm(第4世代)
概略装置サイズ 幅5m×奥行8m×高さ3.5m
(メンテナンススペース、カセットステーション・補機エリア除く)
概算装置重量 約22トン(装置本体)
出荷時期 2010年7月下旬
用途 携帯電話用OLED製造
エム・イー・エス・アフティ株式会社の概要

2009年12月に三井造船のフラット・パネル・ディスプレイ製造用イオン注入装置の事業部隊と半導体製造装置メーカである子会社、旧エム・イー・エス・アフティ株式会社を統合。2010年2月にフラット・パネル・ディスプレイ製造用熱処理・成膜装置メーカである子会社、株式会社ガソニックスも併せて統合。
半導体およびフラット・パネル・ディスプレイ製造装置の開発から製造、販売、保守サービスまで一貫して事業を行う戦略子会社。

取扱品目

・フラット・パネル・ディスプレイ製造用イオン注入装置
・フラット・パネル・ディスプレイ製造用熱処理装置
・フラット・パネル・ディスプレイ製造用LP-CVD成膜装置
・半導体製造用ECRプラズマ成膜装置
・フラット・パネル・ディスプレイ及び半導体成膜用ALD成膜装置

担当
エム・イー・エス・アフティ株式会社 営業部
嶋村  電話:042-632-8800
お問い合わせ先
三井造船株式会社 広報室
乾(いぬい)  電話:03-5202-3147